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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0740577(B2)
申请公布日期
1995.05.01
申请号
JP19870098280
申请日期
1987.04.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;G01R1/073;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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