发明名称 GENERADOR DE IONES DE RESONANCIA EN UN CICLOTRON ELECTRONICO.
摘要 UNA FUENTE (3) DE RESONANCIA DE CICLOTRON ELECTRONICA PARA UN IMPLANTADOR IONICO. LA FUENTE CONTIENE UNA CAMARA DE IONIZACION (54) RODEADA SEGUN SU LARGO DE UN ELECTROIMAN (162). UNA SERIE DE ELECTRODOS DE EXTRACCION (110, 111, 112) EN UN EXTREMO DE SALIDA DE LA CAMARA DE IONIZACION PERMITE QUE IONES OXIGENO CARGADOS POSITIVAMENTE PASEN A TRAVES DE ABERTURAS EN LOS ELECTRODOS. LA UNIFORMIDAD DEL CAMPO MAGNETICO ALINEADO AXIALMENTE EN LA CAMARA DE IONIZACION SE EXTIENDE A TRAVES DEL ELECTRODO DE EXTRACCION MEDIANTE UN ELECTRODO PERMEABLE MAGNETICAMENTE Y MEDIANTE EL USO DE MATERIAL NO PERMEABLE MAGNETICAMENTE PARA FIJAR OTROS DE DICHOS ELECTRODOS.
申请公布号 ES2068890(T3) 申请公布日期 1995.05.01
申请号 ES19890305275T 申请日期 1989.05.24
申请人 EATON CORPORATION;NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION 发明人 HIPPLE, JAMES E.;DIONNE, GERRY;TORII, YASUHIRO;SHIMADA, MASARU;WATANABE, IWAO
分类号 C23C14/48;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/18 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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