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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0719084(Y2)
申请公布日期
1995.05.01
申请号
JP19880129252U
申请日期
1988.09.30
申请人
发明人
分类号
H01J37/248;H01J37/24;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J37/248
代理机构
代理人
主权项
地址
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