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发明名称 Vorrichtung zur thermischen Übertragung mit einem Halbleiterplättchen im Vakuum.
摘要
申请公布号 DE68921769(D1) 申请公布日期 1995.04.27
申请号 DE19896021769 申请日期 1989.01.05
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 MEARS, ERIC LORING, ROCKPORT MASSACHUSETTS 01966, US
分类号 B29C39/02;B29C39/26;B29L31/00;C23C14/50;C30B25/10;C30B31/12;C30B31/22;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B29C39/02
代理机构 代理人
主权项
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