发明名称 Verfahren zum schleierfreien Polieren von Halbleiterscheiben.
摘要
申请公布号 DE3853397(D1) 申请公布日期 1995.04.27
申请号 DE19883853397 申请日期 1988.10.12
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH, 84489 BURGHAUSEN, DE 发明人 PRIGGE, HELENE, DR. DIPL.-CHEM., D-8044 UNTERSCHLEISSHEIM, DE;SCHNEGG, ANTON, DR. DIPL.-CHEM., D-8263 BURGHAUSEN, DE;BREHM, GERHARD, DR. DIPL.-ING., D-8261 EMMERTING, DE;JACOB, HERBERT, DR. DIPL.-CHEM., D-8263 BURGHAUSEN, DE
分类号 B24B1/00;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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