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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Speicherbauelements
摘要
申请公布号 DE3542939(C2) 申请公布日期 1995.04.27
申请号 DE19853542939 申请日期 1985.12.04
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HIRABAYASHI, KAZUO, ITAMI, HYOGO, JP;YAMAMOTO, MAKOTO, AMAGASAKI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/762;H01L21/768;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L23/522;H01L23/528;H01L27/10;H01L27/112;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/824 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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