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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen/Einstellen einer Verschiebung
摘要
申请公布号 DE3715864(C2) 申请公布日期 1995.04.27
申请号 DE19873715864 申请日期 1987.05.07
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SUZUKI, MASANORI, ISEHARA, KANAGAWA, JP;IKI, MAKOTO, FUKUOKA, JP;UNE, ATSUNOBU, ATSUGI, KANAGAWA, JP
分类号 G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G01B11/00;G01B9/02;G12B5/00;G02B27/44;H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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