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发明名称 Magnetron-Zerstäubungsquelle
摘要
申请公布号 DE4000941(C2) 申请公布日期 1995.04.27
申请号 DE19904000941 申请日期 1990.01.15
申请人 NIHON SHINKU GIJUTSU K.K., CHIGASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TAKEI, HIROMICHI, CHIGASAKI, KANAGAWA, JP;SUWA, HIDENORI, CHIGASAKI, KANAGAWA, JP
分类号 C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;H05H1/46;C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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