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发明名称 In-line process monitors for thin film wiring.
摘要
申请公布号 EP0374466(B1) 申请公布日期 1995.04.26
申请号 EP19890120961 申请日期 1989.11.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DEUTSCH, ALINA;OPRYSKO, MODEST M.;RITSKO, JOHN J.;ROTHMAN, LAURA B.
分类号 H01L21/66;G01R31/28;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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