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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0737667(B2)
申请公布日期
1995.04.26
申请号
JP19900015733
申请日期
1990.01.25
申请人
发明人
分类号
C23C14/34;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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