| 发明名称 |
Surface analysis method and apparatus. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0377446(B1) |
申请公布日期 |
1995.04.26 |
| 申请号 |
EP19900100051 |
申请日期 |
1990.01.02 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
NINOMIYA, KEN;SUZUKI, KEIZO |
| 分类号 |
G01N23/225;G01N21/62;G01N21/63;G01N23/22;G01N23/227;G01Q70/08;(IPC1-7):G01N23/227;G06F19/00 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
