| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR APPLYING SOLUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07108206(A) |
申请公布日期 |
1995.04.25 |
| 申请号 |
JP19930255486 |
申请日期 |
1993.10.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAYAMA HIROTAKE;KATO TERUTAKE;IWAMOTO YOSHIKO;HASHIMOTO SATORU;INOUE MITSUHIRO;MORITA MAMORU |
| 分类号 |
B05D1/26;B05C5/02;B05C11/08;H01L21/31;H01L21/312;(IPC1-7):B05C5/02 |
主分类号 |
B05D1/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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