发明名称 METHOD OF FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH07111265(A) 申请公布日期 1995.04.25
申请号 JP19930255345 申请日期 1993.10.13
申请人 SONY CORP 发明人 KAWASHITA NOBUTAKA
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/320 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
地址