| 发明名称 |
SILICIDE FORMING METHOD AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07111253(A) |
申请公布日期 |
1995.04.25 |
| 申请号 |
JP19940039457 |
申请日期 |
1994.03.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUWA TAKESHI;KASAHARA OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/205;H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
