| 发明名称 |
METHOD OF ACTIVATING IMPURITIES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07111251(A) |
申请公布日期 |
1995.04.25 |
| 申请号 |
JP19930254134 |
申请日期 |
1993.10.12 |
| 申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
HASEBE YUJI;KATO AKIRA;KATADA MITSUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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