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发明名称 SLIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07111143(A) 申请公布日期 1995.04.25
申请号 JP19940190478 申请日期 1994.08.12
申请人 JEOL LTD 发明人 SHIMIZU MASAO;ISHIKAWA KENJI
分类号 H01J49/06;H01J49/26;(IPC1-7):H01J49/06 主分类号 H01J49/06
代理机构 代理人
主权项
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