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发明名称 ELECTRON-BEAM CONTINUOUS VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07109571(A) 申请公布日期 1995.04.25
申请号 JP19940191617 申请日期 1994.08.15
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 SEKIGUCHI MAMORU
分类号 C23C14/30;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
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