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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07109563(A) 申请公布日期 1995.04.25
申请号 JP19930252648 申请日期 1993.10.08
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 NEHASHI KIYOSHI
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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