发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH07110358(A) 申请公布日期 1995.04.25
申请号 JP19930253012 申请日期 1993.10.08
申请人 NEC CORP 发明人 YAMADA SUKETAKA
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址