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发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR DETECTING VACUUM LEAKAGE
摘要
申请公布号 JPH07103843(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930249392 申请日期 1993.10.05
申请人 HITACHI BILL SHISETSU ENG KK 发明人 FUKUSHIMA YUKIO;SEKIGUCHI KYOICHI;HIGO YUZURU;KAMITSUMA OSAHARU;HASHIMOTO JUNICHI
分类号 G01M3/20;(IPC1-7):G01M3/20 主分类号 G01M3/20
代理机构 代理人
主权项
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