发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07106410(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930247271 申请日期 1993.10.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HORI MITSUAKI;NAMURA ITARU;INOUE FUMIHIKO
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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