发明名称 VACUUM EVAPORATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07105839(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930244266 申请日期 1993.09.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 KIYONO AKIRA
分类号 C23C14/24;H01J9/14;(IPC1-7):H01J9/14 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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