发明名称 |
MAKING METHOD OF SEMICONDUCTOR SENSOR |
摘要 |
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申请公布号 |
KR950003940(B1) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
申请号 |
KR19900018419 |
申请日期 |
1990.11.14 |
申请人 |
TOSHIBA CO., LTD. |
发明人 |
HIRANO, HIROKATSU;YAMAKI, BUNSHIRO |
分类号 |
G01P15/08;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01P15/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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