| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07106583(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19930242959 |
申请日期 |
1993.09.29 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
FUJII KENICHI |
| 分类号 |
C30B29/06;C23F1/00;C23F4/00;C30B33/08;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/306 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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