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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07106310(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930265661 申请日期 1993.09.29
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 YOSHIMIZU HISANORI
分类号 C23F1/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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