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发明名称
MEASUREMENT OF INTERNAL DEFECT OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH07106389(A)
申请公布日期
1995.04.21
申请号
JP19930253310
申请日期
1993.10.08
申请人
MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP
发明人
KONDO HIDEYUKI;TATSUTA JIRO;SHINGYOUCHI TAKAYUKI
分类号
G01N22/02;G01N33/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01N22/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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