发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING ADHESIVE MATTER
摘要
申请公布号 JPH07103863(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930244844 申请日期 1993.09.30
申请人 RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MAEDA SEIJI;TANAKA HIROSHI
分类号 G01N15/00;G01N1/02;G01N1/22;G01N15/14;(IPC1-7):G01N1/02 主分类号 G01N15/00
代理机构 代理人
主权项
地址