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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07106580(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930263024 申请日期 1993.09.27
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 MIYAZAKI MINORU;MURAKAMI AKANE;KONUMA TOSHIMITSU;SUGAWARA AKIRA;UEHARA YUKIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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