| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07104038(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19930268076 |
申请日期 |
1993.09.30 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
DOWAKI TADASHI;TOSAKA TSUGIO |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/66;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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