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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND TEST METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07106391(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930247659 申请日期 1993.10.04
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 IGARASHI KINICHI
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/320 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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