| 发明名称 |
CLEANING TANK OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07106295(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19930270032 |
申请日期 |
1993.09.30 |
| 申请人 |
TAKATA KOGYOSHO:KK |
发明人 |
TSUKIOKA SADANORI;UEDA TADAKAZU;NAKANO KOICHI;SHIGEMORI YUJI;TOKO TAKANORI |
| 分类号 |
B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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