发明名称 FORMATION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPH07106245(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930244403 申请日期 1993.09.30
申请人 KYOCERA CORP 发明人 WATANABE AKIRA
分类号 H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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