| 发明名称 |
DYNAMIC PRESSURE BEARING DEVICE FOR VACUUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07105885(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19930249165 |
申请日期 |
1993.10.05 |
| 申请人 |
KOYO SEIKO CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI TAKESHI;YAMAMOTO KENJI;HIRAOKA TAIJI |
| 分类号 |
H01J35/10;(IPC1-7):H01J35/10 |
主分类号 |
H01J35/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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