发明名称 TWO LAYER COMPOSITE MATERIAL ENABLING DETECTION OF CRACK
摘要
申请公布号 JPH07106659(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930276145 申请日期 1993.10.06
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 AKIYAMA MORIHITO;WATANABE TADAHIKO;NONAKA KAZUHIRO
分类号 G01N27/20;C04B37/00;G01M5/00;G01N3/00;G01N3/06;H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 G01N27/20
代理机构 代理人
主权项
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