| 发明名称 |
ION BEAM TREATING DEVICE, AND METHOD FOR WORKING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07105893(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19930246519 |
申请日期 |
1993.10.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIYOSHI YASUO;OTSUBO TORU;OKAWA TAKAKO;TOBA TAMAKI;OISHI SEITARO;HASHIMOTO ISAO |
| 分类号 |
H01J27/18;H01J37/08;H01J37/30;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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