发明名称 FILM, CARRIER, SEMICONDUCTOR ELECTRONIC COMPONENT, MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELECTRONIC COMPONENT AND MOUNTING OF SEMICONDUCTOR ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 JPH07106376(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930247029 申请日期 1993.10.01
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOMIOKA TAIZO;ANDO TETSUO
分类号 H01L21/60;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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