发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07106419(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930248949 申请日期 1993.10.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 GOTO SHINYA
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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