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发明名称 HEATING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07106261(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930253255 申请日期 1993.10.08
申请人 TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 HONDA YASUAKI;MITANI SHINICHI
分类号 H05B3/20;C23C16/46;C30B25/10;C30B31/12;F27B5/14;H01L21/205;H05B3/24;H05B3/62;H05B3/64;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
主权项
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