发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07106412(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930251843 申请日期 1993.10.07
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHIMARU KAZUNARI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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