| 发明名称 |
FABRICATION OF THIN FILM ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07106624(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19930268284 |
申请日期 |
1993.09.29 |
| 申请人 |
FUJI XEROX CO LTD |
发明人 |
HIKIJI TAKETO;YAMADA TAKAYUKI |
| 分类号 |
H01L29/40;H01L21/768;H01L27/146;H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10 |
主分类号 |
H01L29/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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