| 发明名称 |
SIMOX PROCESSING METHOD BASED ON MOLECULE ION IMPLANTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07106512(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19940038559 |
申请日期 |
1994.03.09 |
| 申请人 |
SHARP CORP;SHARP MICROELECTRON TECHNOL INC |
发明人 |
NAKATO TATSURO |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/265;H01L21/762;H01L27/00;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/00 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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