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发明名称 DRY-ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07106302(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930243057 申请日期 1993.09.29
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 NONAKA MIKIO;MORI HIDEKI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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