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发明名称 SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH07103988(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930246477 申请日期 1993.10.01
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 YAMAMOTO MICHIHIKO
分类号 G01N1/28;G01N37/00;G01Q30/08;G01Q30/10;G01Q30/20;G01Q60/10;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
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