发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07106574(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930242814 申请日期 1993.09.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MAEKAWA SHIGETO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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