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发明名称 Katodenzerstäubungsvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE59008728(D1) 申请公布日期 1995.04.20
申请号 DE19905008728 申请日期 1990.11.20
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 ZEJDA, JAROSLAV, W-6458 RODENBACH 1, DE
分类号 C23C14/34;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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