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发明名称
DEVICE FOR MATCHING POSITION USING RANDOM PATTERN
摘要
申请公布号
JPS54118779(A)
申请公布日期
1979.09.14
申请号
JP19780025519
申请日期
1978.03.08
申请人
NIPPON CHEMICAL IND
发明人
NAKAZAWA KIWAO;SUWA KIYOUICHI;TANIMOTO SHIYOUICHI;KAZAMA TSUNEYUKI
分类号
H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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