| 发明名称 |
VERTICAL FURNACE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07106273(A) |
申请公布日期 |
1995.04.21 |
| 申请号 |
JP19930276136 |
申请日期 |
1993.10.07 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HOSAKA EIJI;YOSHIDA HISASHI;KAIHATSU HIDEKI;IKEDA KAZUTO |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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