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发明名称
Magnetron with cooled pole piece
摘要
申请公布号
GB2259605(B)
申请公布日期
1995.04.19
申请号
GB19920018232
申请日期
1992.08.27
申请人
* BURLE TECHNOLOGIES INC
发明人
JAMES A * ESHLEMAN
分类号
H01J23/00;H01J25/50;(IPC1-7):H01J23/00
主分类号
H01J23/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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