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发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICES.
摘要
申请公布号 EP0380682(B1) 申请公布日期 1995.04.19
申请号 EP19890907275 申请日期 1989.06.15
申请人 OHMI, TADAHIRO 发明人 OHMI, TADAHIRO;SHIBATA, TADASHI;UMEDA, MASARU
分类号 C23C14/06;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/336;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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