| 发明名称 |
IC analysis system using charged particle beam apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2282895(A) |
申请公布日期 |
1995.04.19 |
| 申请号 |
GB19940019026 |
申请日期 |
1994.09.21 |
| 申请人 |
* ADVANTEST CORPORATION |
发明人 |
AKIRIA * GOISHI;MASAYUKI * KURIHARA;KOSHI * UEDA |
| 分类号 |
G01Q30/00;G01R31/307;(IPC1-7):G01R31/305 |
主分类号 |
G01Q30/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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